金属薄膜连续电沉积装置及其方法

摘要

本发明属于磁性材料领域，涉及金属薄膜的制备方法和装置。本发明金属薄膜连续电沉积装置由电镀槽、支撑辊、剥离辊、清洗装置、吹干装置、烘干装置、张力调节装置、卷曲装置、电镀液补充装置、电镀液循环装置、控制系统和电镀电源组成；所述的连续电沉积方法，以柔性封闭金属带作为电沉积基带，当封闭金属带在电镀槽内循环回转的过程中、浸在电镀液内的部分就会电沉积一层金属薄膜，该金属薄膜先后经在线剥离、清洗、吹干、烘干和张力调节后由卷曲装置卷曲成金属薄膜带卷；封闭金属带不间断连续运动，电镀槽中电镀液不断循环和补充，整个过程不间断地连续进行，金属薄膜带则连续形成。

主权项

1.一种金属薄膜连续电沉积装置，其特征在于该装置由电镀槽(28)、封闭金属带(2)、支撑辊(1)、由伺服电机驱动的支撑辊(6)、剥离辊(7)、清洗装置(9)、吹干装置(10)、烘干装置(11)、张力调节装置(12)、卷曲辊(15)、电镀液补充装置(16)、电镀液循环装置(21)、控制系统和电镀电源组成；支撑辊(1)和由伺服电机驱动的支撑辊(6)处于电镀槽(28)内，封闭金属带(2)套装在支撑辊(1)和由伺服电机驱动的支撑辊(6)上，剥离辊(7)紧贴由伺服电机驱动的支撑辊(6)、清洗装置(9)、吹干装置(10)、烘干装置(11)、张力调节装置(12)和卷曲辊(15)依次紧随其后，并通过电沉积金属薄膜带(8)连接在一条生产线上，电镀液补充装置(16)和电镀液循环装置(21)处于电镀槽(28)的侧面或底部，而且电镀液循环装置(21)通过管路(29、30、31)与电镀槽(28)相连，电镀液补充装置(16)中的两个补液箱(17、18)分别通过管路(32、33)与电镀液循环装置(21)中的储液箱(22)相连。