发明名称 | 芯片载板的制造方法 | ||
摘要 | 一种芯片载板的制造方法,首先提供包层板,由第一金属层、第二金属层及蚀刻停止层构成,接着将该第一金属层定义成第一导线图案,然后于该第一导线图案上压合绝缘层;再将该第二金属层定义成多个凸块焊垫,随后去除未被该凸块焊垫覆盖住的该蚀刻停止层,再形成阻焊层,填满该多个凸块焊垫之间的空隙,并暴露出各该凸块焊垫的上表面,最后蚀刻该凸块焊垫的上表面,自动对准形成多个接合凹孔。 | ||
申请公布号 | CN101593705A | 申请公布日期 | 2009.12.02 |
申请号 | CN200810108777.4 | 申请日期 | 2008.05.29 |
申请人 | 欣兴电子股份有限公司 | 发明人 | 陈昌甫 |
分类号 | H01L21/48(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/48(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 彭久云 |
主权项 | 1.一种芯片载板的制造方法,包含有:提供包层板,其由第一金属层、第二金属层及蚀刻停止层层叠构成,该蚀刻停止层夹设于该第一金属层与该第二金属层之间;将该第一金属层定义成第一导线图案,包括多个金属垫;于该第一导线图案上压合绝缘层;将该第二金属层定义成多个凸块焊垫;去除未被该多个凸块焊垫所覆盖住的该蚀刻停止层,暴露出部分的该绝缘层以及该第一导线图案;于暴露出的该绝缘层及该第一导线图案上形成阻焊层,其中该阻焊层填满该多个凸块焊垫之间的空隙,并暴露出各该凸块焊垫的上表面;以及将暴露出的各该凸块焊垫的上表面蚀刻掉一部分的厚度,由此自动对准形成多个接合凹孔。 | ||
地址 | 中国台湾桃园县 |