放大流量通过压力传感器

摘要

一种用于流率测量的基于MEMS的压力传感器，其包括位于介质密封件和传导性密封件之间的压力传感芯片。这种系统包括位于介质密封件和传导性密封件之间的压力传感芯片。传感隔膜通常与压力传感芯片相关联，其中当有压力被施加于其上时传感隔膜会变位。阻抗电路在施有将被检测的压力的传感隔膜上通常被嵌入有一个或更多电阻。ASIC通常与阻抗电路及传感芯片相关联，其中ASIC被放置在引线框上，用于信号调节从而检测压力的变化。

主权项

1.一种用于流率测量的基于MEMS的压力传感系统，其包括：被分隔成第一半部和第二半部的传感器，所述传感器带有壁构件，所述壁构件将所述第一半部和所述第二半部分开；压力模块，所述压力模块包括与压阻材料相关联的传感隔膜，其中，当压力被施加到所述压阻材料时，所述传感隔膜变位；设置在所述传感器的所述第一半部内的第一信号调节单元，其中所述第一信号调节电路包括嵌入有至少一个与所述压阻材料相关联的压阻元件的阻抗电路；以及设置在所述传感器的所述第二半部内的第二信号调节单元，其中所述第二信号调节单元合并有信号放大器，使得所述第一和第二信号调节单元、所述压力模块、所述传感隔膜和所述传感器提供用于流率测量的基于MEMS的压力传感系统。