| 发明名称 | 制造平板显示器所使用的基板处理装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供制造平板显示器所使用的基板处理装置和方法。本发明的用于制造平板显示器的基板处理装置包括：输送器构件，具有用于输送基板的多个输送轴；冷却构件，以非接触方式冷却由所述输送器构件输送的基板；以及保持间隔构件，保持所述基板和所述冷却构件之间的间隔，使基板与所述冷却构件不接触。 | ||
| 申请公布号 | CN101593673A | 申请公布日期 | 2009.12.02 |
| 申请号 | CN200910202924.9 | 申请日期 | 2009.05.22 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 咸胜元;金相吉 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;G03F7/38(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 李雪春;武玉琴 |
| 主权项 | 1.一种用于制造平板显示器的基板处理装置，其特征在于包括：输送器构件，具有用于输送基板的多个输送轴；冷却构件，以非接触方式冷却由所述输送器构件输送的基板；以及保持间隔构件，保持所述基板和所述冷却构件之间的间隔，使基板与所述冷却构件不接触。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||