一种实时监测反应室漏气的方法

摘要

本发明提供了一种实时监测反应室漏气的方法，该方法使用全波长光谱仪来实时监测反应室漏气的状况。使用全波长光谱仪后，如反应室有漏气，全波长光谱仪就能侦测到387nm波长的CN光谱(CN是漏入反应室的N2和反应室中C的反应生成物)。通过对反应室光波信号的侦测，就能实时监测到反应室是否有漏气。通过实时监测反应室是否漏气，从而可监测处理过程的稳定性，降低甚至避免产品异常风险，提高产品品质。

主权项

1.一种监测反应室漏气的方法，其特征在于反应室通过缆线连接全波长光谱仪，利用上述全波长光谱仪侦测上述反应室的光波信号，根据光波信号确定反应室是否漏气。