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发明名称 Sputtering apparatus
摘要
申请公布号 GB2460456(A) 申请公布日期 2009.12.02
申请号 GB20080009889 申请日期 2008.05.30
申请人 MANTIS DEPOSITION LIMITED 发明人 LARS ALLERS;ALISTAIR HENDERSON KEAN
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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