用于目标物体的位置的无接触干涉检测的位置检测系统和装备有其的扫描系统

摘要

本发明涉及用于目标物体的位置的无接触干涉检测的位置检测的系统。目标物体单元(11)包括参考光发射器(23)，其被配置使得其发射具有弯曲的光波前(30)的参考光束(25)。该目标物体单元包括具有多个检测器像素(31)的至少一个检测器阵列(14)，其被紧固到目标物体单元(11)，使得参考光发射器(23)的参考光束(25)照射到其上。

主权项

1、用于目标物体(11)的位置的无接触干涉检测的位置检测系统，包括：目标物体单元(11)，和具有至少一个测量光发射器(13)的测量光发射器单元(10)，具有相干光的测量光束(16)从所述至少一个测量光发射器(13)辐射到所述目标物体单元(11)上，其中，由于所述测量光束(16)与和所述测量光束(16)相干的参考光束(25)的干涉，使用从检测器产生的干涉信号获得的干涉测量数据来确定所述目标物体单元(11)的位置，其特征在于：所述目标物体单元(11)包括参考光发射器(23)，所述参考光发射器(23)以其发射具有弯曲的光波前(30)的参考光束(25)的方式来配置，所述目标物体单元包括具有多个检测器像素(31)的至少一个检测器阵列(14)，所述检测器阵列(14)以所述参考光发射器(23)的参考光束(25)照射到其上的方式被固定到所述目标物体单元(11)，其中所述测量光束(16)的波前(29)照射到所述目标物体单元(11)的所述检测器阵列(14)上，所述测量光束(16)的波前(29)的曲率小于所述参考光束(25)的波前(30)的曲率，所述测量光束(16)的波前(29)和所述参考光束(25)的波前(30)以充分平行的取向仅照射在所述检测器阵列(14)的检测器像素的部分(31-8)上，以允许在所述检测器像素(31-8)中产生干涉信号，评估所述检测器阵列(14)的至少一个产生干涉信号的检测器像素(31-8)的干涉信号以确定关于所述各自的检测器像素(31-8)和所述测量光发射器之间的距离变化的距离信息，且使用该距离信息来确定所述目标物体相对于所述测量光发射器单元(10)的位置。