有源元件阵列基板及其制作方法与液晶显示装置

摘要

本发明公开了有源元件阵列基板及其制作方法与液晶显示装置。该有源元件阵列基板的制作方法包括：在绝缘基板上形成第一图案化导电层，其具有多条扫描线；在绝缘基板上形成覆盖第一图案化导电层的绝缘层；在绝缘层上形成图案化半导体层；在绝缘层上形成图案化绝缘垫层；在绝缘层上形成第二图案化导电层，其具有多条数据线与对应连接这些数据线的多个源极/漏极，数据线在图案化绝缘垫层上方与扫描线互相交错，这些源极/漏极、图案化半导体层、绝缘层与这些扫描线构成多个有源元件。本发明的有源元件阵列基板的阻容延迟现象获得改善。

主权项

1.一种有源元件阵列基板的制作方法，包括：在一绝缘基板上形成一第一图案化导电层，其中该第一图案化导电层具有多条扫描线；在该绝缘基板上形成覆盖该第一图案化导电层的一绝缘层；在该绝缘层上全面形成一半导体层；在该半导体层上形成一暂时图案化绝缘垫层，其中该暂时图案化绝缘垫层具有多个第一区与多个第二区，该些第一区的该暂时图案化绝缘垫层的厚度大于该些第二区的该暂时图案化绝缘垫层的厚度；以该暂时图案化绝缘垫层为掩模而蚀刻该半导体层，以形成一图案化半导体层；移除该暂时图案化绝缘垫层的该些第二区，以在该绝缘层上形成一图案化绝缘垫层；以及在该绝缘层上形成一第二图案化导电层，其中该第二图案化导电层具有多条数据线与对应连接该些数据线的多个源极/漏极，该些数据线在该图案化绝缘垫层上方与该些扫描线互相交错，该些源极/漏极、该图案化半导体层、该绝缘层与该些扫描线构成多个有源元件。