发明名称
摘要
申请公布号 JP4378290(B2) 申请公布日期 2009.12.02
申请号 JP20040560384 申请日期 2003.12.12
申请人 发明人
分类号 H01J37/28;H01J37/12;H01J37/141;H01J37/145;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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