适用于金刚石热沉膜片的薄膜沉积系统装置

摘要

本发明是一种适用于金刚石热沉膜片的薄膜沉积系统装置。本发明主要由真空室、真空泵抽与测量系统、水冷系统、气路系统和电控系统等组成。其特征是在真空室圆形电极的下方设置一个样品转台，二者组成电容式射频电极。在电容式电极间平行加入通气圆环和灯丝，形成夹心结构。本发明可得到晶粒均匀(尤其是沿厚度方向晶粒均匀)、晶界空隙线度小、密度低、高热导率的优质金刚石膜。该薄膜可满足金刚石热沉膜片领域的应用需求，例如激光二极管阵列、超大规模集成电路降温等。

主权项

1 一种适用于金刚石热沉膜片的薄膜沉积系统装置，包括真空室、真空泵抽与测量系统、水冷系统、气路系统和电控系统，其特征在于所述真空室的升降罩顶中央设置有一个圆形电极，并在圆形电极的下方设置一个样品转台，二者组成电容式射频电极，在二者之间同时加载直流偏压和射频电源；所述电容式射频电极间自上而下还设有平行加入的通气圆环和灯丝。