以针尖状ZnO纳米线为阴极的场发射显示器及其制备方法

摘要

本发明公开的以针尖状ZnO纳米线为阴极的场发射显示器由m×n个显示单元排列组成，每个显示单元包括由绝缘支撑围成的中空框架，中空框架的一个端面自外向内依次有阳极玻璃基板、透明阳极导电层和三基色荧光粉点阵，中空框架的另一个端面自外向内依次有阴极玻璃基板、透明阴极导电层和针尖状ZnO纳米线阵列。采用金属有机物化学气相沉积法制备针尖状ZnO纳米线阵列，按传统工艺制造阳极，封装显示器。本发明的场发射显示器具有低阈值电场强度和高稳定性，亮度高、响应速度快、视角大和色彩逼真、节能环保等方面可与液晶显示器相比，可用于民用和军用显示。

主权项

1.以针尖状ZnO纳米线为阴极的场发射显示器的制备方法，其特征在于步骤如下：1)将覆盖有透明阴极导电层的阴极玻璃基板放入金属有机化学气相沉积系统的生长室中，抽真空，并以平均1℃/1s的升温速率加热到300～400℃；2)以二甲基锌锌源，纯N2O为氧源，以纯N2为载气，将二甲基锌和N2O的混合气体通入生长室中，生长缓冲层，N2流量为50sccm，二甲基锌流量为10～50sccm，N2O流量为10～50sccm，生长5～10分钟后，停止通入混合气体，继续升温至500～650℃；3)再次通入步骤(2)的混合气体，生长ZnO纳米线5～30分钟，然后将二甲基锌流量增加10～30sccm，生长ZnO纳米线针尖端5～30分钟后，在流量为100sccm的N2气氛中降至室温，得到针尖状ZnO纳米阵列阴极板；4)制造阳极，封装显示器。