发明名称 用于抛光由二氧化硅制成的表面的组合物
摘要 本发明涉及一种用于抛光表面的组合物,该组合物包含如下组分:a)至少一种包含镧系元素氧化物的无机磨料组分(S),b)至少一种由聚合物制成的有机分散剂组分(P),c)至少一种有机胶凝剂(G)如结冷胶,d)作为溶剂或分散介质的水,以及e)任选其它助剂和添加剂,并且具有高稳定性。
申请公布号 CN101595190A 申请公布日期 2009.12.02
申请号 CN200780050589.4 申请日期 2007.12.28
申请人 巴斯夫欧洲公司 发明人 S·H·贝伦斯;Y·刘;G·克恩;H·德布斯
分类号 C09G1/02(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I 主分类号 C09G1/02(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 刘金辉;林柏楠
主权项 1.一种包含如下组分的用于抛光表面的组合物:a)至少一种包含镧系元素氧化物的无机磨料组分(S),b)至少一种基于聚合物的有机分散剂组分(P),c)至少一种基于多糖的有机胶凝剂(G),d)作为溶解或分散介质的水,c)合适的话其它助剂和添加剂材料。
地址 德国路德维希港