用于电子制造程序之涂敷液体

摘要

本发明系揭示一些可旋敷液体(spin－coatable liquid)及应用技术，其可用于形成具受控性质之奈米管薄膜或织物。用于电子制造程序之含有奈米管的可旋敷液体包含一种含有复数奈米管之溶剂。此等奈米管之浓度为大于1毫克/升。此等奈米管系经预处理以降低金属及颗粒状不纯物含量至预选含量，并且预选的金属及颗粒状不纯物含量系选用可与电子制造程序相容者。溶剂亦选用可与电子制造程序相容者。

主权项

一种用于电子制造程序之涂敷液体，其包含：电子级之一溶剂以及复数奈米管，其中该奈米管之浓度为大于或等于1毫克/升，其中该涂敷液体含有小于约1×1018原子/立方公分之金属不纯物，以及其中该涂敷液体实质上不含具有直径大于约500奈米之颗粒不纯物。