用于材料的线上处理之系统

摘要

一种用于识别在一个样品的一表面之上的缺陷或污染之方法及系统。该系统系藉由vCPD与nvCPD来侦测整个表面在功函数上的变化而运作。其系利用非振动式接触电位差(nvCPD)感测器以用于成像在一整个样品上之功函数的变化。该资料是差分的，此在于其代表在整个样品表面的功函数(或是几何或表面电压)上的变化。一个vCPD探针系被用来判断在该样品的表面上之特定点的绝对的CPD资料。振动式与非振动式CPD量测模式的组合容许整个样品的均匀度能够快速的成像，并且能够具有侦测在一或多个点之绝对的功函数的功能。

主权项

一种用于一材料的线上处理之系统，其系包含一个检测系统，该检测系统系具有一感测器系统以及一用于接收该材料的材料台，该感测器系统系利用至少一个接触电位差(CPD)感测器，该材料台系可和该材料接合，并且一个定位组件系和该感测器系统及材料台通讯，藉此该感测器系统及材料系可以相对于彼此移动；其改良系包括：该感测器系统系具有一振动式接触电位差(vCPD)感测器模式以及一非振动式接触电位差(nvCPD)感测器模式并且具有一振动式接触电位差探针以及一非振动式接触电位差探针；该非振动式接触电位差探针系适配于响应藉由该非振动式接触电位差探针与材料之相对的运动所产生的接触电位差上之变化，以产生该材料的特性之一个相对的接触电位差资料；该振动式接触电位差探针系适配于在定位在该材料表面上的至少一个点之上时产生该材料表面之一个绝对的接触电位差资料；一个电脑系统系和该感测器系统通讯，藉此相对的接触电位差资料以及绝对的接触电位差资料系藉由该非振动式接触电位差探针以及振动式接触电位差探针而输出至该电脑；以及一个显示器，其系提供在该材料上之化学污染物及其空间分布的一个视觉的影像，此系藉由该电脑系统产生并且代表该绝对及相对的接触电位差资料。