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经营范围
发明名称
精密研磨工具
摘要
一种精密研磨工具,包括:一基板;复数个规则排列于该基板上之研磨颗粒;复数个成型于该基板上之第一固定基座,每一该些研磨颗粒藉由其所对应之第一固定基座而规则地固设于该基板上;以及一第二固定层,其披覆该些第一固定基座以及该基板之表面,且使该些研磨颗粒裸露出来而形成一研磨面。
申请公布号
TWM370179
申请公布日期
2009.12.01
申请号
TW098213241
申请日期
2009.07.20
申请人
钻面奈米科技股份有限公司
发明人
陈佳佩
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
庄志强;王云平
主权项
一种精密研磨工具,系包括:一基板;复数个规则排列于该基板上之研磨颗粒;复数个成型于该基板上之第一固定基座,每一该些研磨颗粒藉由其所对应之第一固定基座而规则地固设于该基板上;以及一第二固定层,其披覆该些第一固定基座以及该基板之表面,且使该些研磨颗粒裸露出来而形成一研磨面。
地址
台北市中山区龙江路100巷8号
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