适用于烘烤一基板之装置

摘要

本发明系提供一种装置，此装置适用于烘烤一基板。其包含了一容器、一加热装置以及一预热装置。容器具有一本体、一盖板以及一密封装置。本体具有一开口、至少一气体入口及至少一气体出口；盖板实质上覆盖于开口上，与本体共同界定出一容置空间，以容置基板；密封装置设于本体与开口间。加热装置系用以对容置空间中之基板进行烘烤。预热装置提供一循环热气，自至少一气体入口，经由基板之表面，导引至至少一气体出口。

主权项

一种装置，适用于烘烤一基板，该装置包含：一容器，具有；一本体，该本体具有一开口、至少一气体入口及至少一气体出口；一盖板，实质上覆盖于该开口上，与该本体共同界定出一容置空间，以容置该基板；一密封装置，设于该本体与该盖板间；一加热装置，系用以对该容置空间中之基板进行烘烤；以及一预热装置，形成一循环热气，自该本体之至少一气体入口、经由该基板之表面、导引至该至少一气体出口。