光罩载具及支撑光罩之方法

摘要

一种光罩载具，使用于光微影半导体制程，具有一基部与一盖部。基部具有复数个光罩支架及复数个光罩定位部件。盖部系用于紧密配合基部，并具有一内表面，其向内突设有复数个相间隔之光罩限制器及一对光罩定位凸片，各光罩定位凸片具有一斜角边缘部，当盖部与基部配合时，可使斜角边缘部迫使光罩支架上之一光罩与光罩限制器啮合。

主权项

一种光罩载具，用于承载光微影半导体制程中所使用的光罩，该光罩通常系平面的，具有相对的上表面及下表面以及四个隅角，该载具包括：一基部，具有至少一对相间隔的光罩支架，当光罩置于光罩支架上时，该光罩支架被定位且适于接触及支撑光罩之下表面，该光罩系可在其上横向滑动；及一盖部，用于紧密配合该基部，该盖部具有一内表面，其上突设有复数个相间隔之光罩限制器及一对光罩定位凸片，各该光罩定位凸片具有一斜角边缘部，当该盖部与该基部配合时，该斜角边缘部之方向系可横向滑动迫使该光罩与该光罩限制器啮合，该光罩定位凸片系被定位成与该光罩之光罩中间相邻隅角啮合。