软磁薄膜电感及磁性多元合金薄膜

摘要

一种适合高频操作下之磁性多元合金薄膜。此磁性多元合金薄膜用于改善薄膜电感在高频操作下的品质因子，并可提升其电感值。此磁性多元合金薄膜主要是引入多元高熵合金的材料设计概念，利用多元高熵合金所具备的一些材料特性，如高乱度、奈米细晶结构、低矫顽磁场以及高电阻率等，来达到高频操作时，磁性多元合金薄膜仍具有良好的软磁性质。

主权项

一种软磁薄膜电感，包括：第一介电层；螺旋状导电层，设置于在前述第一介电层之上，前述螺旋状导电层的起点位于螺旋状的中央，且前述螺旋状导电层的终点位于螺旋状的最外围；第二介电层，设置于在前述螺旋状导电层之上；以及磁性多元合金薄膜，设置于在第二介电层之上，前述磁性多元合金薄膜的组成的元素种类为3至13，其中前述磁性多元合金薄膜的组成之通式为AXM，其中A为选自Fe、Co与Ni所组之族群之一种以上，X为选自Si与B所组之族群之一种以上，M为选自Hf、Cu、Al、Ta、Nb、Cr、Sn、Zr、Ti、Pd、Au、Pt、Ag、Mo、V与Mn所组之族群之一种以上，前述磁性多元合金薄膜不含有N、O与稀土元素，A占整体成分比例范围介于70原子百分比(at.%)~90原子百分比(at.%)之间。