发明名称 PLASMA STAMP, PLASMA TREATMENT DEVICE, METHOD FOR PLASMA TREATMENT AND METHOD FOR PRODUCING A PLASMA STAMP
摘要 <p>Die Erfindung betrifft einen Plasmastempel, mit welchem Oberflächen einer Plasmabehandlung unterzogen werden können. Die Erfindung betrifft außerdem eine Plasmabehandlungsvorrichtung, mit welcher Oberflächen einer Plasmabehandlung unterzogen werden können, sowie ein Plasmabehandlungsverfahren. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur Herstellung eines Plasmastempels.</p>
申请公布号 WO2009141143(A1) 申请公布日期 2009.11.26
申请号 WO2009EP03615 申请日期 2009.05.20
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;KLAGES, CLAUS-PETER;THOMAS, MICHAEL 发明人 KLAGES, CLAUS-PETER;THOMAS, MICHAEL
分类号 H01J37/32;B05D7/24;B29C59/14;C23C14/04 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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