发明名称 |
PLASMA STAMP, PLASMA TREATMENT DEVICE, METHOD FOR PLASMA TREATMENT AND METHOD FOR PRODUCING A PLASMA STAMP |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Plasmastempel, mit welchem Oberflächen einer Plasmabehandlung unterzogen werden können. Die Erfindung betrifft außerdem eine Plasmabehandlungsvorrichtung, mit welcher Oberflächen einer Plasmabehandlung unterzogen werden können, sowie ein Plasmabehandlungsverfahren. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur Herstellung eines Plasmastempels.</p> |
申请公布号 |
WO2009141143(A1) |
申请公布日期 |
2009.11.26 |
申请号 |
WO2009EP03615 |
申请日期 |
2009.05.20 |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;KLAGES, CLAUS-PETER;THOMAS, MICHAEL |
发明人 |
KLAGES, CLAUS-PETER;THOMAS, MICHAEL |
分类号 |
H01J37/32;B05D7/24;B29C59/14;C23C14/04 |
主分类号 |
H01J37/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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