| 主权项 |
1.一种陶瓷绿板的处理方法,其中,在陶瓷绿板中形成多个穿孔,该方法包括以下步骤:雷射波束源发射的雷射波束通过遮罩整形成预定形状;整形后的雷射波束通过折射光栅分割成多束雷射波束,使单束0级折射束的能量变成等于或小于处理陶瓷绿板所需之饱和値能量;用电流镜反射被折射光栅分割的雷射波束;用会聚透镜单独会聚被电流镜反射的雷射波束;用会聚透镜会聚的雷射波束辐射陶瓷绿板,在陶瓷绿板的预定位置中形成同时具有所需形状和尺寸的多个穿孔;以及之后,改变电流镜的反射角度,重复使雷射波束辐射陶瓷绿板,在陶瓷绿板上不同的预定位置形成多个具有所需形状和尺寸的穿孔。2.如申请专利范围第1项的陶瓷绿板处理方法,进一步包括以下步骤:根据陶瓷绿板的种类和处理条件,用一台雷射波束机中的转换系统从多个折射光栅中适当选择要用的一个折射光栅。3.一种在陶瓷绿板中形成多个穿孔的雷射波束器,其包括:支承装置,用于支承陶瓷绿板;雷射波束源,用于辐射雷射波束;遮罩,用于使雷射波束源发射的雷射波束经过而被整形成预定形状;折射光栅,使通过遮罩的雷射波束通过而被分割成多束雷射,使单束0级折射束的能量变成等于或小于处理陶瓷绿板所需饱和値能量;电流镜,用于按预定的反射角反射通过折射光栅的雷射波束;电流镜驱动装置,用于改变电流镜的反射角;以及会聚透镜,用于单独会聚以电流镜按预定反射角反射的雷射波束以及用于辐射雷射波束至被支承装置支承的陶瓷绿板。4.如申请专利范围第3项的雷射波束器,包括多个折射光栅和一个转换系统,转换系统适当选择要用的折射光栅,并且根据陶瓷绿板的种类和处理条件选择折射光栅,而且一台雷射波束器能用于处理多种陶瓷绿板和多种处理条件。图式简单说明:图1是按本发明实施例的雷射波束机的概要示意图;图2是由显示于图1之根据本发明实施例的雷射波束器所处理的其中形成有穿孔的陶瓷绿板的示意图;图3是使用一般的通用折射光栅分割的多束雷射波束在陶瓷绿板中形成的穿孔形状的平面示意图。 |
