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发明名称 Ladungsträgerteilchenstrahl-Belichtungsgerät und dessen Anwendungverfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
摘要
申请公布号 DE60233994(D1) 申请公布日期 2009.11.26
申请号 DE20026033994 申请日期 2002.04.22
申请人 CANON K.K.;HITACHI LTD.;ADVANTEST CORP. 发明人 MURAKI, MASATO;SOHDA, YASUNARI;HASHIMOTO, SHINICHI
分类号 G03F7/20;H01J37/04;H01J37/09;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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