METHOD FOR PRODUCING NANOSCALAR ELECTRICALLY CONDUCTIVE MULTILAYER SYSTEMS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von nanoskaligen elektrisch leitfähigen Mehrschichtsystemen auf Oberflächen, wobei die beschichteten Oberflächen insbesondere zum Wärme- oder Sonnenschutz bzw. in Heizelementen zur Anwendung kommen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Möglichkeit anzugeben, welches die genannten Nachteile der etablierten Verfahren zur Abscheidung von elektrisch leitenden Schichten überwindet. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Verfahren zum Beschichten von Substraten mit einem elektrisch leitenden Schichtsystem dadurch gelöst, dass mindestens eine elektrisch leitende Schicht durch ein Flammenpyrolyse-Verfahren aufgebracht wird.