| 发明名称 |
Verfahren zur Dampfabscheidung eines Kupferfilms. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60234001(D1) |
申请公布日期 |
2009.11.26 |
| 申请号 |
DE20026034001 |
申请日期 |
2002.06.26 |
| 申请人 |
CANON ANELVA CORP. |
发明人 |
SAKAMOTO, HITOSHI;YAHATA, NAOKI |
| 分类号 |
C23C16/08;C23C16/14;C23C14/22;C23C16/448;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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