显示装置之配线形成方法

摘要

本发明旨在提供一种显示装置之配线形成方法，在利用剥落法形成金属配线之情况，用配线保护膜完全被覆金属配线之上层。为达成前述目的，本发明利用剥落法，形成光阻剂后，再形成金属配线。然后，进行适度之加热、灰化、蚀刻或追加显像。藉此，光阻剂自金属配线端部后退，在利用溅镀法使配线保护膜叠层时，金属配线顶面对于入射溅镀粒子之开口角变宽。由于溅镀粒子依开口角而附着成膜，故金属配线之顶面及侧面完全由配线保护膜加以被覆。