透过活性碳吸附将C2F6与CF4分离的方法SEPARATION OF C2F6 FROM CF4 BY ADSORPTION ON ACTIVATED CARBON

摘要

本发明系关于从含CF4的气体移除不纯物C2F6之方法的改良，并且该CF4较佳系藉由F2与碳之反应而制造。该方法的改良包含以下的步骤：使该含CF4的气体(含C2F6不纯物)与吸附床中具有43至55之CCl4活性的活性碳接触而有效进行该C2F6不纯物之吸附；以及，从该吸附床的流出物回收经纯化的CF4产物。