微米针头阵列制造方法及其结构

摘要

一种中空型态的微米针头阵列制造方法及其结构，其步骤包括先预备一晶圆层，于该晶圆层上开设多数与水平面维持预定倾斜度之峰部，复以一光阻层覆盖该峰部表面；接着，于该光阻层上定义出复数个直立管孔，该管孔前端系顺应该峰部倾斜面形成，以使靠近晶圆层之管孔开口面完全贴合于该峰部；之后，电铸一奈米晶粒电镀金属至该光阻层连接并填满各直立管孔，复移除该晶圆层以及光阻层，即完成该微米中空针头阵列各制程步骤；利用半导体制程技术制作微米针头阵列(Microneedle Array)，针头前端可以开设成倾斜切角并且维持中空，因此，针头注射时得以轻易地刺入皮肤，而有助于药物、体液或其他生物分子经皮传输(Transdermal Delivery)及取样。