发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von vereinzelten, auf einem Siliziumsubstrat angeordneten mikromechanischen Bauteilen und hieraus hergestellte Bauteile |
摘要 |
Ein Verfahren zur Herstellung von vereinzelten, auf einem Siliziumsubstrat (1) angeordneten mikromechanischen Bauteilen umfasst die Schritte: a) Bereitstellen von Vereinzelungsgräben (7) auf dem Substrat durch ein anisotropes Plasma-Tiefenätzverfahren; b) Bestrahlen des Bereichs (9, 12) des Siliziumsubstrats (1), welcher den Boden von Vereinzelungsgräben (6) bildet, mit Laserlicht (11), wobei durch das Bestrahlen in diesem Bereich (9, 12) das Siliziumsubstrat (1) von einem kristallinen Zustand in einen zumindest teilweise amorphen Zustand überführt wird; c) Induzieren von mechanischen Spannungen im Substrat (1). In einer Ausführungsform werden gleichzeitig mit dem Ätzen der Vereinzelungsgräben (6) Kavernen (2) geätzt. Die Steuerung der Ätztiefen kann über den RIE-lag-Effekt erfolgen.
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申请公布号 |
DE102008001952(A1) |
申请公布日期 |
2009.11.26 |
申请号 |
DE200810001952 |
申请日期 |
2008.05.23 |
申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
LAERMER, FRANZ;TEEFFELEN, KATHRIN;LEINENBACH, CHRISTINA |
分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;G01L9/00;H04R31/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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