摘要 |
Beschrieben ist ein Verfahren zur Scharfeinstellung eines Variolinsensystems zur Korrketur einer durch Fertigungsfehler verursachten Fokuspunktverschiebung, wobei das Variolinsensystem drei bewegbare Linsengruppen enthält, von denen zumindest zwei zur Brennweitenänderung in Richtung der optischen Achse bewegt werden, um ein Bild auf einer Abbildungsvorrichtung zu erzeugen; in dem Variolinsensystem eine begrenzte Zahl an Brennweitenpositionen vorgesehen ist, in denen eine Scharfeinstellung durchgeführt wird; diejenige der drei bewegbaren Linsengruppen, die der Abbildungsvorrichtung am nächsten ist, eine Fokussierlinsengruppe umfasst; die Position der Fokussierlinsengruppe in Richtung der optischen Achse über Impulse eines Schrittmotors gesteuert wird; und das Verfahren zur Scharfeinstellung kombiniert das Steuern der Fokussierlinsengruppe zur Bestimmung der Position der Fokussierlinsengruppe in Richtung der optischen Achse über Impulse des Schrittmotors sowie das Bestimmen einer Justiergröße vorsieht, mit der die Abbildungsvorrichtung in Richtung der optischen Achse eingestellt wird.
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