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发明名称 Substrate transfer device for thin-film deposition apparatus
摘要
申请公布号 AU2004234806(B8) 申请公布日期 2009.11.26
申请号 AU20040234806 申请日期 2004.04.30
申请人 ISHIKAWAJIMA-HARIMA HEAVY INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 SHUSAKU YAMASAKI;NORIAKI HASEGAWA
分类号 B65G49/06;C23C16/44;C23C16/54;H01L21/205;H01L21/677;H01L31/04 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
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