MAGNETIC YOKE, MICROMECHANICAL COMPONENT AND PRODUCTION METHOD FOR A MAGNETIC YOKE AND A MICROMECHANICAL COMPONENT

摘要

Die Erfindung betrifft ein Magnetjoch (300) mit einem Jochkern mit einem Magneten (202), an welchem ein erster Jocharm (210) und ein zweiter Jocharm (210) so ausgebildet ist, dass der Magnet (202) und die beiden Jocharme (210) eine Jochöffnung aufspannen, einem ersten Paar Polstücke (212), welche in die Jochöffnung hineinragen und in einer ersten Richtung so zueinander beabstandet angeordnet sind, dass ein erster Spalt (214) zwischen dem ersten Paar Polstücke (212) ausgebildet ist, und einem zweiten Paar Polstücke (254), welche in die Jochöffnung hineinragen und in einer senkrecht zu der ersten Richtung ausgerichteten zweiten Richtung so zueinander beabstandet angeordnet sind, dass ein zweiten Spalt (256) zwischen dem zweiten Paar Polstücke (254) ausgebildet ist. Die Erfindung betrifft auch ein mikromechanisches Bauteil mit einem derartigen Magnetjoch (300). Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein Magnetjoch (300) und für ein mikromechanisches Bauteil.