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发明名称
薄膜电晶体阵列面板及其制造方法
摘要
本发明揭示一种TFT阵列面板,该TFT阵列面板包括一下部铝层、一形成于该下部铝层上之氮化铝层及一形成于该氮化铝层上之上部铝层。该TFT阵列面板包括一铝接线,其减少或甚至防止可导致短路之一突丘之形成。本发明亦揭示一种制造该TFT阵列面板之方法。
申请公布号
TW200631181
申请公布日期
2006.09.01
申请号
TW094141391
申请日期
2005.11.25
申请人
三星电子股份有限公司
发明人
裴良浩;李制勋;赵范锡;郑敞午
分类号
H01L29/786
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
陈长文;林嘉兴
主权项
地址
韩国
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