发明名称 具闸极间隙物结构及低电阻通道耦合之场效应电晶体
摘要 场效性电晶体结构(3p,3n)的间隙物结构(24p,24n)至少在具有固定电荷载子的区段中增强,并且,在该等间隙物结构(24p,24n)中所累积的电荷乃会诱发位在下方之半导体基板(1)中可移动电荷载子的一增强区域(13n,13p),而该增强区域(13n,13p)则是会降低位在该分别之源极/汲极区域(61,62)以及该分别之场效应电晶体结构(3p,3n)的一通道区域(63)之间的一通道耦接的电阻,且其中,该通道区域乃是受到一闸极电极(21)的一电位的控制,然后,自该场效应电晶体结构(3p,3n)之该闸极电极(21)缩回的源极/汲极区域(61,62)会降低位在该闸极电极(21)以及该分别之源极/汲极区域(61,62)间的一重叠电容。再者,一种用于制造电晶体配置的方法系加以载明,其中,该等电晶体配置具有伴随着以适当方式进行增强之间隙物结构(24n,24p)的n–FETs(3n)以及p–FETs(3p)。
申请公布号 TW200631178 申请公布日期 2006.09.01
申请号 TW095105166 申请日期 2006.02.15
申请人 英飞凌科技股份有限公司 发明人 马蒂雅斯 戈尔德巴赫;拉尔夫 史特莫尔
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 德国