镀膜设备之防漏构件

摘要

一种镀膜设备之防漏构件，系针对系针对真空镀膜机隔舱密封组所设计之防漏结构，隔舱密封组得为隔板式或数个多角形管体之形成，因此配合作气密之立体式O型环外型形状亦有所调整，O型环断面形状与充气室及充气嘴由环周连通至充气室则系相同，隔舱密封组之构件间相互密合时仍有缝隙，防漏之立体式O型环充气膨胀，得以有效密封防漏，阻绝缝隙泄漏，O型环在构件间分离、组合之多次操作后，密封效果仍能保持，隔舱密封组之多个各别气密容置空间之间，作不同真空压力与灌入不同制程气体时，仍不会相互污染或相互影响者。