发明名称 METHOD FOR FORMING INTERLAYER DIELECTRIC IN SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 KR100693785(B1) 申请公布日期 2007.03.12
申请号 KR20040112756 申请日期 2004.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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