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发明名称
苊衍生物,聚合物,以及形成抗反射膜之组成物
摘要
之组成物 本发明揭示新颖之化合物乙醯氧甲基及羟甲基。 亦揭示自该等新颖化合物制备而含有具有通式(3)之结构单 元的聚合物 其中R1系为氢原子,且R2及R3个别表示单价原子 或平价有机基团。该聚合物适于作为形成抗反射膜的组成 物之成份,该组成物具有高度抗反射效果且不与光阻膜相 互混合。
申请公布号
TWI317365
申请公布日期
2009.11.21
申请号
TW092119850
申请日期
2003.07.21
申请人
JSR股份有限公司
发明人
杉田光;今野圭二;田中正人;下川努
分类号
C08G61/02;G03F7/004
主分类号
C08G61/02
代理机构
代理人
林志刚
主权项
一种具有以下通式(1)之乙醯氧甲基苊:
地址
日本
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