半导体测试装置及其控制方法

摘要

提供半导体测试装置，此装置具有第1波形生成单元(生成与各个复数的半导体元件共通的共通资讯相对应的共通图案波形)、第2波形生成单元(生成与各个复数的半导体元件对应，与个别准备的复数个别资讯对应的个别图案波形)、波形切换单元(有选择地进行向各个复数的半导体元件共通输入第1波形生成单元所生成的上述共通图案波形的操作、与个别输入各个复数的第2波形生成单元生成的上述个别图案波形的操作)。

主权项

一种半导体测试装置，其特征在于包括：一第1波形生成单元，生成与各个复数的半导体元件共通的共通资讯相对应的共通图案波形；复数个第2波形生成单元，生成与上述各个复数的半导体元件对应而与个别准备的复数个别资讯对应的个别图案波形；以及一波形切换单元，向上述各个复数的半导体元件，选择性地进行一共通输入动作，与一个别输入动作，其中该共通输入动作是共通地输入上述的第1波形生成单元所生成的上述共通图案波形，且该个别输入动作是个别地输入上述各个复数的第2波形生成单元所生成的上述个别图案波形，其中该个别图案波形或该共通图案波形的任一个，同时并列输入到该复数的半导体元件。