具有摩天轮状枢转搬移装置之半导体晶圆分类系统

摘要

本创作系一种具有摩天轮状枢转搬移装置之半导体晶圆分类系统，包含：基座、传送汲取装置、搬移装置；该基座依分类种类划分数组相对应的承载位置与移出位置，并在每组承载位置与移出位置间，设置可安置数个承载装置的搬移装置。将晶圆依检测结果分类至不同搬移装置上的承载装置内，当承载装置的晶圆达预定数量，该搬移装置即转动一个角度，使满载的承载装置远离承载位置而由另一个空承载装置取代。藉此，由移出位置移除满载的承载装置不需停机，且每次可移出多个满载承载装置，节约操作时间，有效提升产出效率。

主权项

一种具有摩天轮状枢转搬移装置之半导体晶圆分类系统，系供将该等被分类之半导体晶圆分别置放于复数承载装置，包含：一个形成有复数承载位置以及复数移出位置之基座；一组设置于该基座、供传送汲取该等半导体晶圆之传送汲取装置；复数组分别对应该等承载位置及移出位置之搬移装置，分别包括：一个枢轴；复数个可相对该枢轴枢转、分别供置放一组承载装置之承载埠；一组受该枢轴驱动、并分别驱动该等承载埠随该枢轴沿其旋转方向在该对应承载位置及移出位置间转动之旋转件。