气阀总成及使用该气阀总成之装置

摘要

本发明提供一种用于沈积装置的气阀总成，其包括：一其中包括多个气体供应通道的驱动轴杆；一围绕驱动轴杆并且其中包括多个通孔的外壳；在驱动轴杆及外壳之间的多个磁性密封对，该磁性密封对包括磁性流体；及一在轴杆与外壳之间的防漏构件，该防漏构件防止磁性流体泄漏。

主权项

一种用于一沈积装置的气阀总成，其包含：一驱动轴杆，其中包括多个气体供应通道；一外壳，其围绕该驱动轴杆并且其中包括多个通孔；在该驱动轴杆及该外壳之间的多个磁性密封对，该多个磁性密封对包括一磁性流体；及一在该驱动轴杆及该外壳之间的防漏构件，该防漏构件防止磁性流体泄漏，其中该防漏构件包括多个迷宫式密封对，且其中将每个迷宫式密封对安置在相应磁性密封对与一从相应通孔到相应气体供应通道的气体通路之间。