处理基板的装置及其方法

摘要

本发明是关于处理基板之装置。根据本发明，藉由将高温以及高压蒸气喷射于基板上来清洁基板。蒸气产生器经组态以连续地将蒸气提供于基板上。在由蒸气进行清洁后，可接着由刷子进行清洁。