| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Sensormembransubstrats |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19824401(B4) |
申请公布日期 |
2009.11.19 |
| 申请号 |
DE19981024401 |
申请日期 |
1998.05.30 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
WEBER, HERIBERT;SCHMIDT, STEFFEN |
| 分类号 |
G01F1/692;G01F1/684;G01F1/86;G01L7/08;G01L9/00;G01L9/04;H01L21/306;H01L29/84;H01L49/00 |
主分类号 |
G01F1/692 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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