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发明名称 PLASMA PROCESSING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100798043(B1) 申请公布日期 2008.02.04
申请号 KR20050124368 申请日期 2005.12.16
申请人 发明人
分类号 H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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