| 摘要 |
本发明提供一种制造包含多个复制结构的元件的方法,其系用在藉着复制来制造每一个具有几何表面特征(geometrica1 surface feature)的多个光学元件的制程中。此方法包含的步骤为提供元件基板;藉着压花(embossing)而将工具元件的包含上述几何表面特征的负样版(negativecopy)的表面复制于在元件基板的表面上被设置在第一位置处的复制材料内;随后将复制材料硬化;将工具元件的该表面复制于在该基板上被设置在第二位置处的复制材料内;将该复制材料硬化,此方法包含的进一步步骤为随后用充填材料来充填在被设置在第一位置处的复制材料与被设置在第二位置处的复制材料之间的间隙。 |
