| 摘要 |
本发明提供自诸如冶金级矽之不纯矽源大规模生产具有一或多种定制含量之n型及p型杂质之经纯化多晶矽颗粒的方法及装置。纯化系统及方法包括:(1)一或多个系列配备有双重流化床的温度控制反应器或容器,其中固体及气体经输运以藉由严格控制温度及滞留时间实现固体矽之不同程度的纯化及沈积;(2)诸如FeSi及FeI2之高熔点杂质之化合物的分离及回收;(3)四碘化矽之纯化、分离及循环;(4)藉由碘回流促进诸如AlI3之低沸点液体杂质之碘化合物于连续分馏塔中之分离及回收;(5)包括杂质碘化物及元素矽之极微细固体粒子于分馏塔下游之液体混合物中之分离及回收;(6)自氧化来自该制程之固体及液体碘化物杂质二者之废流回收输入物碘。 |
