发明名称 Reinigungszusammensetzung für Halbleitersubstrate
摘要
申请公布号 DE602008000181(D1) 申请公布日期 2009.11.19
申请号 DE200860000181T 申请日期 2008.01.04
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC. 发明人 WU, AIPING
分类号 C11D7/26;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/28;C11D7/50;C11D11/00 主分类号 C11D7/26
代理机构 代理人
主权项
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