| 发明名称 |
System and Method for Resonance Frequency Tuning of Resonant Devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2009284102(A1) |
申请公布日期 |
2009.11.19 |
| 申请号 |
US20090420045 |
申请日期 |
2009.04.07 |
| 申请人 |
STICHTING IMEC NEDERLAND |
发明人 |
KARAKAYA KORAY;HOHLFELD DENNIS |
| 分类号 |
H02N2/18;G01L1/16;H01L41/053;H01L41/22 |
主分类号 |
H02N2/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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