发明名称 |
薄膜晶体管 |
摘要 |
本发明涉及一种薄膜晶体管,包括一源极、一漏极、一半导体层及一栅极,该漏极与该源极间隔设置,该半导体层与该源极和漏极电连接,该栅极通过一绝缘层与该半导体层、源极及漏极绝缘设置,其中,该栅极、源极和/或漏极包括一碳纳米管层,该碳纳米管层包括多个碳纳米管。 |
申请公布号 |
CN101582448A |
申请公布日期 |
2009.11.18 |
申请号 |
CN200810067171.0 |
申请日期 |
2008.05.14 |
申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
姜开利;李群庆;范守善 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L29/43(2006.01)I;H01L29/49(2006.01)I;H01L29/41(2006.01)I;H01L29/417(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种薄膜晶体管,包括:一源极;一漏极,该漏极与该源极间隔设置;一半导体层,该半导体层与该源极和漏极电连接;以及一栅极,该栅极通过一绝缘层与该半导体层、源极及漏极绝缘设置;其特征在于,该源极、漏极和/或栅极包括一金属性碳纳米管层。 |
地址 |
100084北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |