| 发明名称 | 微机械结构和制造微机械结构的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种微机械结构和制造微机械结构的方法。该微机械结构包括硅(Si)基衬底；直接在该衬底上形成的微机械元件；和在该微机械元件的释放部下方形成的底切部；其中该底切部的形式为在硅基衬底中形成的凹口。 | ||
| 申请公布号 | CN101583559A | 申请公布日期 | 2009.11.18 |
| 申请号 | CN200780049406.7 | 申请日期 | 2007.11.09 |
| 申请人 | 新加坡科技研究局 | 发明人 | 苏迪兰赞·特里帕斯;维克纳什·s/o·莎姆伽纳赞 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩 龙;阎娬斌 |
| 主权项 | 1.一种微机械结构，包括：硅(Si)基衬底；直接在该衬底上形成的微机械元件；和在该微机械元件的释放部下方形成的底切部；其中该底切部的形式为在硅基衬底中形成的凹口。 | ||
| 地址 | 新加坡新加坡市 | ||