面板配向工艺后检查设备

摘要

一种面板配向工艺后检查设备，用以检测一大型面板的缺陷，主要包含主机架模块、面板支撑模块及蒸气喷出模块。面板支撑模块设置于主机架模块，至少包含面板支撑框架与复数个真空吸嘴，前述的复数个真空吸嘴设置于面板支撑框架用以真空吸取一大型面板，面板支撑模块用以操作大型面板的旋转及移动的动作；蒸气喷出模块包含复数个蒸气产生装置、蒸气传输管路与复数个蒸气喷嘴，前述的复数个蒸气产生装置设置于主机架模块，前述的复数个蒸气喷嘴设置于面板支撑模块，以将蒸气喷至大型面板的表面。

主权项

1、一种面板配向工艺后检查设备，主要包含一主机架模块、一面板支撑模块及一蒸气喷出模块，其特征在于：该面板支撑模块设置于该主机架模块，至少包含有面板支撑框架与复数个真空吸嘴，该复数个真空吸嘴设置于该面板支撑框架用以真空吸取一大型面板，该面板支撑模块用以操作该大型面板以第一方向旋转、以第二方向旋转以及沿第一平面移动，其中该第一方向垂直于该第二方向，该第二方向平行于该第一平面；该蒸气喷出模块包含复数个蒸气产生装置、蒸气传输管路与复数个蒸气喷嘴，该复数个蒸气产生装置设置于该主机架模块，该复数个蒸气喷嘴设置于该面板支撑模块。