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发明名称 CMP PAD Conditioner for improving defect and conditioning effect
摘要
申请公布号 KR100857692(B1) 申请公布日期 2008.09.08
申请号 KR20060125093 申请日期 2006.12.08
申请人 发明人
分类号 B24B53/017;B24B53/12;H01L21/304 主分类号 B24B53/017
代理机构 代理人
主权项
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