曲向探针型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种曲向探针型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有控制栅极、碳纳米管以及曲向探针型栅控阴极结构；能够进一步的缩短栅极-阴极之间的距离，降低整体器件的工作电压，增强碳纳米管的表面电场强度，将栅极的控制功能和聚焦功能结合到一起，改善了栅极的控制效率，提高器件的显示图像质量，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种曲向探针型栅控阴极结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板[1]、阳极玻璃面板[10]和四周玻璃围框[15]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[11]以及制备在阳极导电层上的荧光粉层[13]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[14]以及消气剂附属元件[16]，其特征在于：在阴极玻璃面板上有控制栅极[5]、碳纳米管[9]以及曲向探针型栅控阴极结构；所述的曲向探针型栅控阴极结构的衬底材料为玻璃，即阴极玻璃面板[1]；阴极玻璃面板上的刻蚀后金属层形成阴极引线层[2]；阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅层形成了隔离一层[3]；隔离一层从纵向结构上看其上表面是一个平面，侧面是垂直于阴极玻璃面板的平面；隔离一层中存在圆形孔，暴露出底部的阴极引线层；隔离一层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成隔离二层[4]；隔离二层从纵向结构上看其上平面是一个平面，其下平面也是一个平面，和隔离一层相接触，其侧面则是一个非等边三角形状，向隔离二层的内部凹陷；隔离二层从横向结构上看是一个倒置鱼缸型，即上开口的直径大于隔离一层圆形孔的直径，中间部分向内部凹陷，下开口的直径和隔离一层圆形孔的直径相同；隔离二层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层[5]；栅极引线层分布在隔离二层的上表面和侧面上；栅极引线层要伸出隔离二层的侧面，呈现悬空状态，形成曲向探针型形状；栅极引线层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层[6]；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层，包括位于隔离二层的上顶面部分、侧面部分以及悬空部分的栅极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的掺杂多晶硅层形成提升层[7]；提升层为一个半圆型形状，下表面为一个平面，和阴极引线层相接触，其上表面为一个半圆面；提升层上面的刻蚀后的金属层形成过渡层[8]；碳纳米管[9]制备在过渡层的上面。